សារៈសំខាន់នៃឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសីតុណ្ហភាពខ្ពស់

ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះបច្ចេកវិទ្យាឧបករណ៍ចាប់សញ្ញារបស់ប្រទេសខ្ញុំកំពុងអភិវឌ្ឍយ៉ាងឆាប់រហ័សហើយវាលពាក្យសុំរបស់វាក៏កំពុងតែពង្រីកផងដែរ។ ក្នុងនាមជាប្រភេទនៃបច្ចេកវិទ្យាវាស់វែងទំនើបបំផុតបច្ចេកវិទ្យាបច្ចេកវិទ្យាថ្មីវត្ថុធាតុដើមថ្មីនិងដំណើរការថ្មីកំពុងលេចចេញជាលំដាប់ក្នុងវិស័យឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធ។

ឧបករណ៏សម្ពាធគឺជាឧបករណ៍ដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីរកមើលសញ្ញាសម្ពាធហើយបម្លែងពួកវាទៅជាសញ្ញាអគ្គិសនីយោងទៅតាមច្បាប់ជាក់លាក់។ វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការផលិតផ្សេងៗឧស្សាហកម្មឧស្សាហកម្មនិងអវកាស។ °គ) នឹងបរាជ័យដែលបណ្តាលឱ្យមានការបរាជ័យនៃការវាស់សម្ពាធ។ ដូច្នេះឧបករណ៏សម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ក្លាយជាទិសដៅស្រាវជ្រាវដ៏សំខាន់មួយ។

ចំណាត់ថ្នាក់នៃសីតុណ្ហាភាពខ្ពស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធ

យោងទៅតាមវត្ថុធាតុដើមផ្សេងៗគ្នាដែលត្រូវបានប្រើឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់អាចត្រូវបានបែងចែកទៅជាឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធសីតណ្តាញដែលមានសម្ពាធខ្ពស់ soi (Silicon នៅលើ Silicon) និងប្រភេទផ្សេងគ្នាផ្សេងទៀត។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ SOI គឺល្អណាស់។ ខាងក្រោមនេះណែនាំឧបករណ៏សម្ពាធខ្ពស់ខ្ពស់ SOI ។

ឧបករណ៏សម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ SOI

ការអភិវឌ្ឍឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ SOI ភាគច្រើនពឹងផ្អែកលើការកើនឡើងនៃវត្ថុធាតុដើម SOI ។ ភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍ .in បន្ថែម, ដោយសារតែលក្ខណៈខ្ពស់នៃស្រទាប់ឧបករណ៍ SOI, វាក្លាយជាសម្ភារៈដ៏ល្អសម្រាប់ការរៀបចំឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ SO បានទទួលការអភិវឌ្ឍនៅបរទេសដោយជោគជ័យហើយសីតុណ្ហភាពការងារគឺ -55 ~ 480 អង្សាសេ។ ឧបករណ៏សម្ពាធសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ SOI បានបង្កើតឡើងដោយស្ថាប័នស្រាវជ្រាវដែលមានកំពស់ខ្ពស់ជាង 400 អង្សាសេក៏កំពុងអនុវត្តការស្រាវជ្រាវលើឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់របស់លោកស៊ីជេនជូបានចូលសាកលវិទ្យាល័យស៊ីនជីននិងសាកលវិទ្យាល័យប៉េកាំង។ លើសពីនេះទៀតវិទ្យាស្ថានស្រាវជ្រាវបច្ចេកវិទ្យាធុនស្រាវជ្រាវតាមប្រព័ន្ធធុនស្រាវជ្រាវនាពេលអនាគតរបស់ហ្វារីរីក៏កំពុងអនុវត្តការងារស្រាវជ្រាវដែលពាក់ព័ន្ធហើយគម្រោងបច្ចុប្បន្នបានឈានដល់ដំណាក់កាលធ្វើបាតុកម្ម។

គោលការណ៍ការងារនៃឧបករណ៏សម្ពាធខ្ពស់នៃសម្ពាធខ្ពស់ SOI

ជាគោលការណ៍ឧបករណ៏សម្ពាធសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់របស់ Soi ជាចម្បងប្រសិទ្ធភាពនៃគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុន។ ស្រទាប់ឧបករណ៍កំពូល S SOI ដើម្បីបង្កើតស្ពាន Spromstone មួយដែលបានបង្ហាញក្នុងរូបភាពទី 2 (ក); សម្ពាធខាងក្រោយមានបែហោងធ្មែញត្រូវបានបញ្ចូលនៅលើស្រទាប់ស្រទាប់ខាងក្រោម Soi ដើម្បីបង្កើតរចនាសម្ព័ន្ធដែលងាយរងគ្រោះ។

រូបភាពទី 2 (ក) ស្ពានសាន់ដេស

នៅពេលរចនាសម្ព័ន្ធសម្ពាធដែលមានសម្ពាធត្រូវបានទទួលរងសម្ពាធខ្យល់ភាពធន់ទ្រាំនៃការផ្លាស់ប្តូរ piezoresistor ដែលបណ្តាលឱ្យ VOOON VALT VOOUT ផ្លាស់ប្តូរហើយតម្លៃសម្ពាធត្រូវបានវាស់តាមរយៈតម្លៃវ៉ុលនិងតម្លៃធន់របស់ Piezoresistor ។

ដំណើរការប្រឌិតរបស់ឧបករណ៏សម្ពាធខ្ពស់របស់សូ

ដំណើរការត្រៀមនៃឧបករណ៏សម្ពាធសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ SOI ពាក់ព័ន្ធនឹងដំណើរការ MEMS ជាច្រើន។ ជំហានសំខាន់ៗមួយចំនួនត្រូវបានណែនាំយ៉ាងខ្លីនៅទីនេះដើម្បីស្វែងយល់ពីដំណើរការនៃឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាភាគច្រើនរួមទាំងការរៀបចំរបស់ Piezoresistor ការរៀបចំខ្សែភាពយន្តដែលមានសម្ពាធនិងការវេចខ្ចប់របស់អង្គជំនុំជម្រះសម្ពាធ។

គន្លឹះក្នុងការរៀបចំការផ្លាស់ប្តូរភាពខុសគ្នាស្ថិតនៅក្នុងការគ្រប់គ្រងការប្រមូលផ្តុំសារធាតុញៀននិងការបង្កើនប្រសិទ្ធិភាពនៃដំណើរការផ្សិតជាបន្តបន្ទាប់។ ស្រទាប់ដឹកនាំលោហៈជាចម្បងបម្រើជាការភ្ជាប់ស្ពានរបស់ស្ពានសាតស៍; ការរៀបចំខ្សែភាពយន្តដែលងាយរងគ្រោះភាគច្រើនពឹងផ្អែកយ៉ាងសំខាន់ទៅលើដំណើរការនៃការស៊ីស៊ីលីកុនជ្រៅ។ ការវេចខ្ចប់នៃបែហោងធ្មែញជាធម្មតាប្រែប្រួលអាស្រ័យលើការអនុវត្តនៃឧបករណ៏សម្ពាធ

ចាប់តាំងពីរូបសំណាកសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់របស់ក្រុមហ៊ុនពាណិជ្ជកម្មបច្ចុប្បន្នមិនអាចបំពេញតាមតម្រូវការនៃការវាស់ស្ទង់សម្ពាធនៃបរិស្ថានដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់និងការស្រាវជ្រាវដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់របស់ខ្លួនសម្ភារៈសភាពខ្ពស់របស់ខ្លួនបានក្លាយជាវត្ថុធាតុដើមដ៏ល្អសម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ការស្រាវជ្រាវនាពេលអនាគតស្តីពីឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធខ្ពស់របស់ SOI គួរតែផ្តោតលើការដោះស្រាយស្ថេរភាពរយៈពេលវែងនិងបញ្ហាកំដៅខ្លួនឯងនៃឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់និងការកែលម្អភាពត្រឹមត្រូវនៃឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធ។ ទិដ្ឋភាព។

ជាការពិតណាស់ការមកដល់នៃយុគសម័យវៃឆ្លាតនេះក៏តម្រូវឱ្យមានឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ SOI រួមផ្សំជាមួយនឹងមុខងារពហុជំនាញដទៃទៀតដែលមានសំណងដោយខ្លួនឯងការលាបថ្នាំដោយខ្លួនឯងនិងការផ្ទុកសម្ពាធលើសម្ពាធបរិស្ថានដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ស្មុគស្មាញ។ ។